超净高纯试剂（Uitra-clean and High-purity Reagents）是集成电路（IC）和超大范围集成电路（VLSL）制造历程中的要害性底子化工质料之一，次要用于芯片的洗濯和腐化，别的还用于硅圆片外表的洗濯。
超净高纯试剂的纯度和干净度对集成电路的制品率、电功能及牢靠性均有非常紧张的影响。
品种：酸类（硝酸、硫酸、盐酸等），碱类（氢氧化铵、氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸氢钠等），腐化剂（氟化铵腐化剂（BOE）、硅腐化剂（MAE）、混淆酸（3F、4F）等）无机溶剂（甲醇、乙醇、异丙醇、丙酮等）
超净高纯试剂的特点：强酸碱性、强氧化性、强腐化性，纯度高，贮存无效期短；
纯度品级（又称颗粒去除品级）：
过滤目标：
去除颗粒、胶状杂物、无机杂物、维持电功能。
九游会要求：
1.九游会需经18MΩ超纯水冲洗；
2.对颗粒物和胶状物去除服从高；
3.流量大，压差小，机器强度高；
4.滤材兼容性好，抗腐化和抗氧化性好；
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